532nm アニーリング用 グリーンライン Green Line for Annealing
■　用途 LIMO社のグリーンラインは、アニーリング用途に最適化されています。 LIO社が特許を所有する技術により、高いビーム均一性を持つ狭線幅(8um)のラインビームが実現されています。 ■　特長 コンパクトなシステム 低初期コストおよび低ランニングコスト エキシマレーザアリーリングに比較し、低いメンテナンスコスト >95%の高いシステム稼働率 (エキシマレーザアニーリング装置は>75%) ■　適用材料 C-Si ガラス上のA-Si ガラス上のTCO (ITO) 半導体ウェハー (Si, GaAs) ■　適用分野 フラットパネルディスプレー製造 半導体デバイス 薄膜太陽電池製造装置 65mm グリーンライン 200mm グリーンライン
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株式会社ハナムラオプティクス