CCD ビームプロファイラ
(極端紫外(EUV)、紫外光(UV)用)

CCD Camera Based Laser Beam Profiler for EUV, UV

■ 製品概要
産業用途で実績のあるUVレーザビームプロファイラで、半導体やディスプレイ産業のレーザ材料加工用のエキシマレーザや、Nd:YAGレーザの第3、4、5高調波に使用可能です。
製品の基本システムは、UV用のディテクタを基にしたカメラおよび高度なBeamlux IIソフトウェアから成ります。アクティブエリアに応じて、10umから100mmのビーム径の測定が可能です。

■ 特長
・オプティクス・共振器の調整時間の短縮
・ユーザフレンドリな、加工モニタリングサポート
・オンライン解析、自動文書化
・信頼の接続、データベースへのデータ転送
・EN-ISO基準に準拠したビームプロファイル解析用Beamlux IIソフトウェアへの拡張可能
・トリガー動作、同期動作用のシングルパルス分解能
・製造プロセス用の高い均質性および長期信頼性

同レーザビームプロファイラで、EUV, UV, VISおよびNIRの波長範囲、1um-100mmのビーム径を持つレーザビームの強度分布を、EN ISO基準に基づき、測定および解析できます。
各種ソフトウェアは、ビームスポットおよびビーム位置、均質レーザビームの特性の解析に適しています。オプションの付属品により、パルスレーザ同期動作、シングルパルス測定が可能です。
ディテクタヘッドは、機械部分の特殊表面精密化および光学部品のARコーティングにより最適化され、迷光を最小化しています。






■ 製品ラインナップ

製品名
センサタイプ
波長
ビームサイズ
外観
入射パワー
UV Monitor CCD 2/3" 193 - 1100nm 74um -5mm <100mW
UV Monitor K2 CCD 2/3" 10 - 1100nm 65um - 5mm <1W
UV Monitor 10 CCD 2/3" 157 - 308nm < 56 x 44mm2 <10W
UV Monitor 11 CCD 2/3" 157 - 308nm < 56 x 44mm2 <10W
UV Monitor 20 CCD 2/3" 157 - 308nm < 25 x 20mm2 <10W
UV Monitor 21 CCD 2/3" 157 - 308nm < 25 x 20mm2 <10W
付属品:レール、4.5mケーブル、PCIカード、SW/driver CD
付属品オプション:PCMCIA、エクスプレスカード、トリガーケーブル、高パワー用アッテネータ、
 ML8010モータコントローラ、ML1630レーザ同期デバイス
測定種類:ビームサイズ、発散角、ニアフィールド、ファーフィールド、ビーム安定性、パワー、コーステック(caustic)、均一性

※実際のスペクトルレンジは、使用するコンバータに依存します。
※ Metrolux社HPは、こちらをクリック下さい。  http://www.metrolux.de/en
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株式会社ハナムラオプティクス