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AOMC Multi-Channel Modulators |
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| AOマルチチャンネル変調器(Acousto-Optic Multichannel Modulators)は、複数の平行光を入射させ、互いに独立した強度変調・偏向を与えることができます。変調器1台につきAO結晶は1個しか使われませんが、アレイ状に配置されたLNトランスデューサがマルチチャンネル・独立変調/偏向を可能にしています。G&H社独自の優れた光学・電気設計によってクロストークが最小化され、最大48チャンネルの強度変調と最大8チャンネルの偏向を実現しました。AO結晶には内部品質の優れた超低散乱の結晶のみを採用し、厳しい品質検査をパスした結晶だけを使用します。これによって、高いレーザ耐性を実現しました。 AOマルチチャンネル変調器は、各ビームで別々の強度変調を掛けられることから、ほとんどの場合、微細加工や直接描画式(マスクレス)リソグラフィの高速化、スループットの向上のために使用されます。変調性能もシングルチャンネル変調器と同じで、変調の高速化や小アパーチャ用途に使えるだけでなく、特注対応でアパーチャの大型化にも対応できます。 AOマルチチャンネル偏向器としては、1つの入射ビームに複数のRF周波数を同時に印加させることで、複数の回折光を作ることができます。各チャンネルがそれぞれ独立した偏向器として機能させることができ、各チャンネルでスキャンや複数の加工点を実現できます。マルチチャンネルの利点を生かして、2次元グリッドを作ることができます。例えば、4本の平行光を入射させた4チャンネル操作で、チャンネルあたり3つのRFを印加すれば、チャンネルあたり3点の回折光が得られます。3点 x 4チャンネルのグリッドが可能です。 |
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株式会社ハナムラオプティクス |
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